SAW濾波器的基本原理為在輸入端由壓電效應(yīng)把無(wú)線信號(hào)轉(zhuǎn)換為聲信號(hào)在介質(zhì)表面?zhèn)鞑?，在輸出端由逆壓電效?yīng)將聲信號(hào)轉(zhuǎn)換為無(wú)線信號(hào)。一個(gè)基本的SAW濾波器由壓電材料和兩個(gè)叉指式換能器（IDT，Interdigital Transducer）組成，輸入端的IDT將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成聲波，且該聲波在SAW濾波器基板表面以駐波形式橫向傳播，輸出端的IDT接收到的聲波轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出，從而實(shí)現(xiàn)濾波。
SAW類產(chǎn)品包括普通的SAW濾波器以及具有溫度補(bǔ)償特性的TC-SAW濾波器，產(chǎn)品形式包括雙工器以及單獨(dú)的濾波器。制作的原材料主要為鉭酸鋰或鈮酸鋰的單晶晶圓（4寸晶圓為主），在晶圓上方應(yīng)用光刻，鍍膜等半導(dǎo)體工藝進(jìn)行圖形化處理，然后劃切成為芯片，芯片表面結(jié)構(gòu)和制作工藝較為簡(jiǎn)單，成本較低。
SAW原理示意圖：
BAW濾波器基本原理同SAW濾波器相同，不同的是BAW濾波器中聲波垂直傳播。同時(shí)電極的使用與薄膜壓電層的厚度決定濾波器諧振頻率，高頻下薄膜壓電層厚度在幾微米量級(jí)，因此需要使用較高難度的薄膜沉積與微機(jī)械加工技術(shù)，制造難度與成本更高。濾波器微信公眾號(hào)認(rèn)為，BAW濾波器有FBAR類型以及SMR類型，兩者結(jié)構(gòu)略有差別。BAW濾波器可以直接在硅晶圓（6寸為主）加工設(shè)計(jì)，利用PVD或CVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)壓電薄膜的制備是其關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，薄膜材料主要為氮化鋁和氧化鋅。
BAW原理示意圖：
信息來(lái)源公眾號(hào)：濾波器
